Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы
| Parent link: | Микролитография: принципы, методы, материалы: в 2 ч: пер. с англ./ У. Моро. Ч. 1.— , 1990.— 5-03-001372-5 |
|---|---|
| Language: | Russian |
| Published: |
1990
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=149036 |
| Physical Description: | 607 с. |
|---|---|
| ISBN: | 503001716X |