(1990). Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы. 1990.
Dyfyniad Arddull ChicagoЧ. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы. 1990, 1990.
Dyfyniad MLAЧ. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы. 1990, 1990.
Rhybudd: Mae'n bosib nad yw'r dyfyniadau hyn bob amser yn 100% cywir.