Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие

Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Institutionell upphovsman:	Томский политехнический университет (ТПУ)
Övriga upphovsmän:	Сочугов Н. С. Николай Семенович, Соловьев А. А. Андрей Александрович
Sammanfattning:	Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Пособие разработано в рамках реализации Инновационной образовательной программы ТПУ по направлению «Технология водородной энергетики, энергоснабжение и возобновляемые источники энергии» и предназначено для студентов, обучающихся на факультетах физико-технического профиля.
Språk:	ryska
Publicerad:	Томск, Изд-во ТПУ, 2008
Serie:	Инновационная образовательная программа
Ämnen:	Плазменная металлизация плазменные напыления металлизация покрытия классификация плазма газофазное осаждение распыления метод ионного осаждения ионно-ассистированное осаждение кластерно-лучевое нанесение магнетронные распылительные системы вакуумные технологические установки учебные пособия труды учёных ТПУ низкотемпературная плазма материаловедение пленочные покрытия
Materialtyp:	Bok
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=148969

Liknande verk

Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие
av: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Publicerad: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Плазменные порошковые покрытия
av: Борисов Ю. С. Юрий Сергеевич
Publicerad: (Киев, Технiка, 1986)

Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий
av: Барвинок В. А. Виталий Алексеевич
Publicerad: (Москва, Машиностроение, 1990)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
Publicerad: (2008)

Теоретические исследования и практическое применение плазменных износостойких покрытий
Publicerad: (Свердловск, Изд-во НЦ АН СССР, 1983)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
av: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicerad: (Томск, 2022)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
av: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicerad: (Томск, 2022)

Нанесение медного покрытия на алюминиевые контактные поверхности плазмодинамическим методом: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.14.12
av: Шаненкова Ю. Л. Юлия Леонидовна
Publicerad: (Томск, [Б. и.], 2019)

Разработка спеченных Ti-Cu, Ti-Si катодов для ионно- плазменного нанесения наноструктурных нитридных покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.16.09
av: Гурских А. В. Алексей Валерьевич
Publicerad: (Томск, 2012)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
av: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicerad: (Томск, [Б. и.], 2022)

Плазменная технология в машиностроении: [монография]
av: Стацура В. В. Вениамин Вениаминович
Publicerad: (Красноярск, Изд-во Красноярского ун-та, 1990)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
av: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publicerad: (2020)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
av: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicerad: (Томск, [Б. и.], 2018)

Механоплазменная обработка металла
av: Сошко В. А. Виктор Александрович
Publicerad: (Германия, LAP Lambert Academic Publishing, 2015)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
av: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicerad: (Томск, [Б. и.], 2018)

Инженерия поверхностей металлов и сплавов с использованием многокомпонентных плазменных потоков и ионно-ассистированного осаждения
av: Белый А. В.
Publicerad: (Минск, Белорусская наука, 2024)

Нитридные покрытия, получаемые вакуумно-дуговым методом с помощью порошковых катодов; Современные техника и технологии; Т. 2
av: Гуммер З. И.
Publicerad: (2008)

Численное и экспериментальное исследование влияния технологических параметров на фазовый и химический состав карбидного покрытия, растущего в импульсной электродуговой плазме; Химическая физика и мезоскопия; Т. 14, № 4
Publicerad: (2012)

Нанесение медного покрытия на алюминиевые контактные поверхности плазмодинамическим методом: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.14.12
av: Шаненкова Ю. Л. Юлия Леонидовна
Publicerad: (Томск, 2019)

Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.04
av: Гренадёров А. С. Александр Сергеевич
Publicerad: (Томск, [Б. и.], 2018)

Химические и электротермохимические способы осаждения металлопокрытий
av: Вишенков С. А. Семен Аркадьевич
Publicerad: (Москва, Машиностроение, 1975)

Вакуумные покрытия: библиографический указатель отечественной и зарубежной литературы. 1980-1984 гг.
Publicerad: (Киев, Изд-во ИЭС, 1985)

Нанесение медного покрытия на алюминиевые контактные поверхности плазмодинамическим методом: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.14.12
av: Шаненкова Ю. Л. Юлия Леонидовна
Publicerad: (Томск, 2019)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
Publicerad: (2020)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
av: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publicerad: (Томск, 2016)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Publicerad: (2018)

The formation of stable hydrogen impermeable TiN-based coatings on zirconium alloy Zr1%Nb; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
Publicerad: (2015)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
av: Рогожников Д. С.
Publicerad: (2016)

Evolution of the Grain Structure in the Layer of Zr-Y-O in Multilayer Coating on the Basis of Zr-Y-O/Si-Al-N at a High Temperature in the "In-Situ" Observation; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
Publicerad: (2018)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Publicerad: (2019)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
av: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publicerad: (Томск, 2017)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
av: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicerad: (Томск, 2018)

Защитно-декоративные покрытия изделий бытового назначения
av: Грачева М. П.
Publicerad: (Москва, Госбытиздат, 1963)

Химическая металлизация: учебное пособие
av: Шпак И. Е. Игорь Евгеньевич
Publicerad: (Саратов, Изд-во Саратовского ГТУ, 1993)

Materials science and technologies of modern advanced materials : practical course
av: Shevchenko I. M.
Publicerad: (Ставрополь, СКФУ, 2022)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
av: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicerad: (2021)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
av: Шпакова Н. Ю.
Publicerad: (2011)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Publicerad: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Publicerad: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Построение и анализ генной сети альвеолярных макрофагов при ХОБЛ различной этиологии на основе данных по генной экспрессии с применением программного модуля GRatio; Современные техника и технологии; Т. 2
av: Швецов Е. Е. Егор Евгеньевич
Publicerad: (2010)