Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие

Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие

Bibliografiset tiedot
Päätekijä:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Yhteisötekijä:	Томский политехнический университет (ТПУ)
Muut tekijät:	Сочугов Н. С. Николай Семенович, Соловьев А. А. Андрей Александрович
Yhteenveto:	Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Пособие разработано в рамках реализации Инновационной образовательной программы ТПУ по направлению «Технология водородной энергетики, энергоснабжение и возобновляемые источники энергии» и предназначено для студентов, обучающихся на факультетах физико-технического профиля.
Kieli:	venäjä
Julkaistu:	Томск, Изд-во ТПУ, 2008
Sarja:	Инновационная образовательная программа
Aiheet:	Плазменная металлизация плазменные напыления металлизация покрытия классификация плазма газофазное осаждение распыления метод ионного осаждения ионно-ассистированное осаждение кластерно-лучевое нанесение магнетронные распылительные системы вакуумные технологические установки учебные пособия труды учёных ТПУ низкотемпературная плазма материаловедение пленочные покрытия
Aineistotyyppi:	Kirja
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=148969

Samankaltaisia teoksia

Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие
Tekijä: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Julkaistu: (Томск, Изд-во ТПУ, 2008)

Плазменные порошковые покрытия
Tekijä: Борисов Ю. С. Юрий Сергеевич
Julkaistu: (Киев, Технiка, 1986)

Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий
Tekijä: Барвинок В. А. Виталий Алексеевич
Julkaistu: (Москва, Машиностроение, 1990)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
Julkaistu: (2008)

Теоретические исследования и практическое применение плазменных износостойких покрытий
Julkaistu: (Свердловск, Изд-во НЦ АН СССР, 1983)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
Tekijä: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Julkaistu: (Томск, 2022)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
Tekijä: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Julkaistu: (Томск, 2022)

Нанесение медного покрытия на алюминиевые контактные поверхности плазмодинамическим методом: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.14.12
Tekijä: Шаненкова Ю. Л. Юлия Леонидовна
Julkaistu: (Томск, [Б. и.], 2019)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
Tekijä: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Julkaistu: (2020)

Нитридные покрытия, получаемые вакуумно-дуговым методом с помощью порошковых катодов; Современные техника и технологии; Т. 2
Tekijä: Гуммер З. И.
Julkaistu: (2008)

Разработка спеченных Ti-Cu, Ti-Si катодов для ионно- плазменного нанесения наноструктурных нитридных покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.16.09
Tekijä: Гурских А. В. Алексей Валерьевич
Julkaistu: (Томск, 2012)

Вакуумные покрытия: библиографический указатель отечественной и зарубежной литературы. 1980-1984 гг.
Julkaistu: (Киев, Изд-во ИЭС, 1985)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
Tekijä: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Julkaistu: (Томск, [Б. и.], 2022)

Плазменная технология в машиностроении: [монография]
Tekijä: Стацура В. В. Вениамин Вениаминович
Julkaistu: (Красноярск, Изд-во Красноярского ун-та, 1990)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Tekijä: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Julkaistu: (Томск, [Б. и.], 2018)

Численное и экспериментальное исследование влияния технологических параметров на фазовый и химический состав карбидного покрытия, растущего в импульсной электродуговой плазме; Химическая физика и мезоскопия; Т. 14, № 4
Julkaistu: (2012)

Химические и электротермохимические способы осаждения металлопокрытий
Tekijä: Вишенков С. А. Семен Аркадьевич
Julkaistu: (Москва, Машиностроение, 1975)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Tekijä: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Julkaistu: (Томск, [Б. и.], 2018)

Химическая металлизация: учебное пособие
Tekijä: Шпак И. Е. Игорь Евгеньевич
Julkaistu: (Саратов, Изд-во Саратовского ГТУ, 1993)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
Julkaistu: (2020)

Импульсные методы нанесения порошковых покрытий
Tekijä: Дорожкин Н. Н. Нил Николаевич
Julkaistu: (Минск, Наука и техника, 1985)

Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.04
Tekijä: Гренадёров А. С. Александр Сергеевич
Julkaistu: (Томск, [Б. и.], 2018)

Многокомпонентные вакуумные покрытия
Tekijä: Костржицкий А. И. Анатолий Игоревич
Julkaistu: (Москва, Машиностроение, 1987)

The formation of stable hydrogen impermeable TiN-based coatings on zirconium alloy Zr1%Nb; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
Julkaistu: (2015)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Julkaistu: (2018)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
Tekijä: Шпакова Н. Ю.
Julkaistu: (2011)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Tekijä: Рогожников Д. С.
Julkaistu: (2016)

Механоплазменная обработка металла
Tekijä: Сошко В. А. Виктор Александрович
Julkaistu: (Германия, LAP Lambert Academic Publishing, 2015)

Применение метода осаждения из абляционной плазмы для получения биоактивных покрытий на имплантантах; Современные техника и технологии; Т. 2
Tekijä: Швецов Е. Е. Егор Евгеньевич
Julkaistu: (2010)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Tekijä: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Julkaistu: (Томск, 2016)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Julkaistu: (2019)

Защитно-декоративные покрытия изделий бытового назначения
Tekijä: Грачева М. П.
Julkaistu: (Москва, Госбытиздат, 1963)

Evolution of the Grain Structure in the Layer of Zr-Y-O in Multilayer Coating on the Basis of Zr-Y-O/Si-Al-N at a High Temperature in the "In-Situ" Observation; AIP Conference Proceedings; Vol. 2051 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2018 (AMHS’18)
Julkaistu: (2018)

Построение и анализ генной сети альвеолярных макрофагов при ХОБЛ различной этиологии на основе данных по генной экспрессии с применением программного модуля GRatio; Современные техника и технологии; Т. 2
Tekijä: Швецов Е. Е. Егор Евгеньевич
Julkaistu: (2010)

Нанесение неорганических покрытий (теория, технология, оборудование): учебное пособие
Tekijä: Бобров Г. В. Геннадий Васильевич
Julkaistu: (Москва, Интермет Инжиниринг, 2004)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Julkaistu: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Julkaistu: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Нанесение медного покрытия на алюминиевые контактные поверхности плазмодинамическим методом: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.14.12
Tekijä: Шаненкова Ю. Л. Юлия Леонидовна
Julkaistu: (Томск, 2019)

Теория и технология формирования неорганических покрытий: монография
Tekijä: Бобров Г. В. Геннадий Васильевич
Julkaistu: (Москва, Альфа, 2014)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
Tekijä: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Julkaistu: (2021)