|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
148969 |
| 005 |
20240212110251.0 |
| 010 |
|
|
|a 5982981915
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\161502
|
| 090 |
|
|
|a 148969
|
| 100 |
|
|
|a 20081210d2008 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Плазменные покрытия (методы и оборудование)
|e учебное пособие
|f В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А. Соловьев
|g Томский политехнический университет (ТПУ)
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c Изд-во ТПУ
|d 2008
|
| 215 |
|
|
|a 104 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Инновационная образовательная программа
|
| 320 |
|
|
|a Список литературы: с. 98-103
|
| 330 |
|
|
|a Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Пособие разработано в рамках реализации Инновационной образовательной программы ТПУ по направлению «Технология водородной энергетики, энергоснабжение и возобновляемые источники энергии» и предназначено для студентов, обучающихся на факультетах физико-технического профиля.
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\203960
|t Плазменные покрытия (методы и оборудование)
|o учебное пособие
|f В. П. Кривобоков, Н. С. Сочугов, А. А. Соловьев
|g Томский политехнический университет (ТПУ)
|c Томск
|n Изд-во ТПУ
|d 2008
|a Кривобоков, Валерий Павлович
|
| 606 |
1 |
|
|a Плазменная металлизация
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\48948
|9 67764
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменные напыления
|
| 610 |
1 |
|
|a металлизация
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a классификация
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a газофазное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a распыления
|
| 610 |
1 |
|
|a метод ионного осаждения
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-ассистированное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a кластерно-лучевое нанесение
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумные технологические установки
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a низкотемпературная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a материаловедение
|
| 610 |
1 |
|
|a пленочные покрытия
|
| 675 |
|
|
|a 621.793.74(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Кривобоков
|b В. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Валерий Павлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971
|9 9290
|
| 701 |
|
1 |
|a Сочугов
|b Н. С.
|g Николай Семенович
|
| 701 |
|
1 |
|a Соловьев
|b А. А.
|g Андрей Александрович
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский политехнический университет (ТПУ)
|c (1991- )
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\376
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20081210
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20201026
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
