Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| مؤلف مشترك: | |
| مؤلفون آخرون: | , |
| الملخص: | Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Пособие разработано в рамках реализации Инновационной образовательной программы ТПУ по направлению «Технология водородной энергетики, энергоснабжение и возобновляемые источники энергии» и предназначено для студентов, обучающихся на факультетах физико-технического профиля. |
| اللغة: | الروسية |
| منشور في: |
Томск, Изд-во ТПУ, 2008
|
| سلاسل: | Инновационная образовательная программа |
| الموضوعات: | |
| التنسيق: | كتاب |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=148969 |
| وصف مادي: | 104 с. ил. |
|---|---|
| الملخص: | Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Пособие разработано в рамках реализации Инновационной образовательной программы ТПУ по направлению «Технология водородной энергетики, энергоснабжение и возобновляемые источники энергии» и предназначено для студентов, обучающихся на факультетах физико-технического профиля. |
| ردمك: | 5982981915 |