Плазменные покрытия (методы и оборудование): учебное пособие
| Yazar: | |
|---|---|
| Müşterek Yazar: | |
| Diğer Yazarlar: | , |
| Özet: | Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Пособие разработано в рамках реализации Инновационной образовательной программы ТПУ по направлению «Технология водородной энергетики, энергоснабжение и возобновляемые источники энергии» и предназначено для студентов, обучающихся на факультетах физико-технического профиля. |
| Dil: | Rusça |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Томск, Изд-во ТПУ, 2008
|
| Seri Bilgileri: | Инновационная образовательная программа |
| Konular: | |
| Materyal Türü: | Kitap |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=148969 |
| Fiziksel Özellikler: | 104 с. ил. |
|---|---|
| Özet: | Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Пособие разработано в рамках реализации Инновационной образовательной программы ТПУ по направлению «Технология водородной энергетики, энергоснабжение и возобновляемые источники энергии» и предназначено для студентов, обучающихся на факультетах физико-технического профиля. |
| ISBN: | 5982981915 |