Изменение поверхностных свойств изоляторов после ионной имплантации; Современные техника и технологии; Т. 1

Dades bibliogràfiques
Parent link:Современные техника и технологии: 14 Международная научно-практическая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 24-28 марта 2008 г./ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2008
Т. 1.— 2008.— С. 63-65
Autor principal: Лебедь К. В.
Altres autors: Кабышев А. В. (научный руководитель)
Idioma:rus
Publicat: 2008
Matèries:
Format: Capítol de llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=148055

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 148055
005 20231031145306.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\160487 
090 |a 148055 
100 |a 20081125d2008 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Изменение поверхностных свойств изоляторов после ионной имплантации  |f К. В. Лебедь  |g науч. рук. А. В. Кабышев 
320 |a Библиогр.: 10 назв. 
461 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\book\156858  |t Современные техника и технологии  |o 14 Международная научно-практическая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 24-28 марта 2008 г.  |o труды  |o в 3 т.  |f Томский политехнический университет (ТПУ)  |d 2008 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\book\155176  |t Т. 1  |v С. 63-65  |d 2008  |p 538 с. 
610 1 |a изоляторы 
610 1 |a изоляция 
610 1 |a ионная имплантация 
610 1 |a поверхностные свойства 
610 1 |a электрическое поле 
610 1 |a диэлектрики 
610 1 |a диэлектрические материалы 
610 1 |a ионно-плазменная обработка 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
700 1 |a Лебедь  |b К. В. 
702 1 |a Кабышев  |b А. В.  |4 727 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20081125  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20141106  |g RCR 
942 |c BK