|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
148055 |
| 005 |
20231031145306.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\160487
|
| 090 |
|
|
|a 148055
|
| 100 |
|
|
|a 20081125d2008 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Изменение поверхностных свойств изоляторов после ионной имплантации
|f К. В. Лебедь
|g науч. рук. А. В. Кабышев
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 10 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\156858
|t Современные техника и технологии
|o 14 Международная научно-практическая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 24-28 марта 2008 г.
|o труды
|o в 3 т.
|f Томский политехнический университет (ТПУ)
|d 2008
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\155176
|t Т. 1
|v С. 63-65
|d 2008
|p 538 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a изоляторы
|
| 610 |
1 |
|
|a изоляция
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностные свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a электрическое поле
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрики
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменная обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Лебедь
|b К. В.
|
| 702 |
|
1 |
|a Кабышев
|b А. В.
|4 727
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20081125
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20141106
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|