|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
145725 |
| 005 |
20231101221157.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785922106795
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\157958
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\114505
|
| 090 |
|
|
|a 145725
|
| 100 |
|
|
|a 20061130d2008 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы
|e учебное пособие для вузов
|f А. А. Барыбин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Физматлит
|d 2008
|
| 215 |
|
|
|a 424 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 415-416.
|
| 320 |
|
|
|a Предметный указатель: с. 417-423.
|
| 330 |
|
|
|a В книге изложены основные физические явления и закономерности, лежащие в основе технологических методов и процессов, используемых в производстве современных электронных приборов и интегральных микросхем. Изложение материала построено так, чтобы дать читателю возможность самостоятельно сформировать общие физико-технологические представления путем изучения основных физических, химических и электрохимических закономерностей, как правило, без обращения к другой литературе. Для углубленного изучения отдельных вопросов в конце книги приведен список рекомендуемой литературы. Книга предназначена главным образом для студентов как учебное пособие по физико-технологическим основам электроники и микроэлектроники, но может оказаться полезной и специалистам в этой области. Рекомендовано учебно-методическим объединением вузов Российской Федерации по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 550700 и 654100 «Электроника и микроэлектроника» подготовки бакалавров, магистров и дипломированных специалистов.
|
| 451 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\114505
|y 5-9921-0679-1
|t Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы
|o учебное пособие
|f А. А. Барыбин
|c М.
|n Физматлит
|d 2006
|p 424 с.
|a Барыбин, Анатолий Андреевич
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|x Физические основы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43816
|9 63258
|
| 606 |
1 |
|
|a Электронные приборы
|x Физические процессы
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20489
|9 45590
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a термодинамические основы
|
| 610 |
1 |
|
|a вещества
|
| 610 |
1 |
|
|a фазовые превращения
|
| 610 |
1 |
|
|a управление
|
| 610 |
1 |
|
|a химические превращения
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a точечные дефекты
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузионные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a кинетические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностные явления
|
| 610 |
1 |
|
|a межфазные взаимодействия
|
| 610 |
1 |
|
|a термодинамические расчеты
|
| 610 |
1 |
|
|a физические величины
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 610 |
1 |
|
|a внесистемные единицы
|
| 675 |
|
|
|a 621.38:53(075.8)
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77:53(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Барыбин
|b А. А.
|g Анатолий Андреевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20081021
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150618
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Электроника и микроэлектроника
|
| 900 |
|
|
|a Физические основы электроники
|
| 900 |
|
|
|a Физические основы электронных приборов
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 951 |
|
|
|b 210100
|
| 959 |
|
|
|a 92/20081021
|d 2
|e 330,00
|f АНЛ:1
|f ЧЗТЛ:1
|
| 959 |
|
|
|a 31/20090305
|d 2
|e 330,00
|f АНЛ:1
|f ЧЗТЛ:1
|
