Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие

Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие

Bibliographic Details
Main Author:	Гаврилов С. А. Сергей Александрович
Other Authors:	Белов А. Н. Алексей Николаевич
Summary:	Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Для студентов, обучающихся по специальностям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 010803 (014100) «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы, 210100 (550700) «Электроника и микроэлектроника (бакалавр)», а также для аспирантов, научных работников и инженеров.
Language:	Russian
Published:	Москва, Высшее образование, 2009
Series:	Высшее образование. Основы наук
Subjects:	Электрохимия электродные процессы электрохимические процессы анодное растворение полупроводники кремний твердотельные наноструктуры анодные оксидные пленки катодное осаждение учебные пособия
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=140952

Similar Items

Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие
by: Гаврилов С. А. Сергей Александрович
Published: (Москва, РИОР, 2014)

Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие
by: Гаврилов С. А. Сергей Александрович
Published: (Москва, Высшее образование, 2009)

Кинетические закономерности растворения металлов из тонкопленочных систем в условиях инверсионных электрохимических методов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора химических наук; спец. 02.00.05
by: Баканов В. И. Вячеслав Иванович
Published: (Свердловск, [Б. и.], 1987)

Прикладная электрохимия. Теория, технология и защитные свойства гальванических покрытий: межвузовский сборник
Published: (Казань, Изд-во КХТИ, 1984)

Изучение процессов электролитического выделения индия: [оттиск]
by: Стыркас А. Д.
Published: (Ленинград, Изд-во ЛГУ, 1965)

Электрохимические основы теории коррозии металлов
by: Шаталов А. Я. Анатолий Яковлевич
Published: (Воронеж, Изд-во Воронежского ун-та, 1971)

Влияние концентрации камфары на электрокапиллярные кривые на ртути и на электродные процессы на кадмиевом амальгамном капельном электроде: [отдельный оттиск]
by: Стромберг А. Г. Армин Генрихович
Published: (Москва, Изд-во АН СССР, 1957)

Механизм действия галоидных ионов на растворение кадмия и свинца в кислых растворах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук
by: Медведева Л. А.
Published: (Москва, [Б. и.], 1956)

Электрохимические процессы на переменно-поляризуемом электроде. 2. Поведение обратимой окислительно-восстановительной системы ферри-ферроцианид калия: [отдельный оттиск]
by: Бегунов Г. А.
Published: (Москва, Изд-во АН СССР, 1962)

Анодное растворение концентрированных индиевых амальгам: отдельный оттиск
by: Козин Л. Ф.
Published: (Киев, Наукова думка, 1966)

Исследование активирующего и пассивирующего действия кислорода, поглощенного из газовой фазы, на электрохимическое поведение железного электрода в щелочных растворах: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук
by: Лукьянычева В. И.
Published: (Москва, [Б. и.], 1958)

Образование одновалентного индия при анодном растворении индиевого электрода: отдельный оттиск
by: Пчельников А. П.
Published: (Москва, [Б. и.], 1965)

Об электродных потенциалах систем элемент - отрицательный ион: [отдельный оттиск]
by: Гладышев В. П.
Published: (Москва, Изд-во АН СССР, 1977)

Влияние природы катиона фона на кинетические токи 3,3'-4,4'-бензофенонтетракарбоновой кислоты: отдельный оттиск
by: Крюкова Г. Г.
Published: (Москва, [Б. и.], 1971)

Зависимость тока от скорости изменения потенциала и скорости вращения дискового электрода в случае линейно изменяющегося потенциала: отдельный оттиск
by: Гирина Г. П.
Published: (Москва, [Б. и.], 1967)

Анодные окисные покрытия на легких сплавах
Published: (Киев, Наукова думка, 1977)

Т. 2 : Электрохимия ионных расплавов; VIII Всесоюзная конференция по физической химии и электрохимии ионных расплавов и твердых электролитов, Ленинград, 11-13 октября 1983 г.
Published: (1983)

Влияние адсорбции на полярографическое восстановление N-(2-метоксибензоил) капролактама: отдельный оттиск
by: Цагарели Г. А.
Published: (Москва, [Б. и.], 1968)

К снятию электрокапиллярных кривых по форме поляризованной висячей ртутной капли: отдельный оттиск
by: Мелик-Гайказян В. И.
Published: (Москва, [Б. и.], 1968)

Высокотемпературная электрохимия. Электролиты. Кинетика: сборник научных трудов
Published: (Свердловск, Изд-во УНЦ АН СССР, 1986)

О причинах спадов тока на поляризационных кривых, исправленных на ток фона: отдельный оттиск
Published: (Москва, [Б. и.], 1968)

Электрорастворение смешанных металлических осадков с поверхности твердого индифферентого электрода: отдельный оттиск
by: Ройзенблат Е. М.
Published: (Москва, [Б. и.], 1969)

Гальваностатическое восстановление перфтордифенилртути. Десорбция деполяризатора на емкостном участке кривой заряжения: отдельный оттиск
Published: (Москва, [Б. и.], 1973)

Квазиравновесные состояния в системах Ме-МеАтв-КАр-р: отдельный оттиск
by: Брайнина Х. З.
Published: (Москва, [Б. и.], 1965)

Исследование кинетики растворения окислов и восстановления металлов из расплавленных шлаков методом вращающегося дискового электрода: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Бороненков В. Н.
Published: (Свердловск, [Б. и.], 1965)

Электрохимические процессы на переменно-поляризуемом электроде. 1. Описание установки и общие сведения: [оттиск]
by: Бегунов Г. А.
Published: (Москва, Изд-во АН СССР, 1961)

Основы электрохимии: учебник для техникумов
by: Кубасов В. Л. Владимир Леонидович
Published: (Москва, Химия, 1985)

К вопросу о каталитическом выделении водорода из кислых растворов n-толуидина: отдельный оттиск
by: Тедорадзе Г. А.
Published: (Москва, [Б. и.], 1968)

К вопросу о появлении каталитических максимумов тока при электровосстановлении металлов группы железа на ртутном капельном электроде: отдельный оттиск
Published: (Москва, [Б. и.], 1965)

Механизм полярографического восстановления аминоалкиловых эфиров метакриловой кислоты: отдельный оттиск
by: Игнатьева Ф. К.
Published: (Ленинград, Наука, 1971)

Полярографическое электровосстановление ионов металла при катализе лигандом - продуктом параллельной электродной реакции: отдельный оттиск
by: Турьян Я. И.
Published: (Москва, [Б. и.], 1978)

Исследования в области электрохимии
Published: (Москва, Изд-во МХТИ, 1982)

Электроокисление-электровосстановление комплексных солей двух-трехвалентного железа. 2. Зависимость скорости электролиза от состава: [отдельный оттиск]
by: Горбачев С. В.
Published: (Москва, Изд-во АН СССР, 1962)

Исследование механизма полярографических каталитических токов комплексов олова (IV) с полифенолами: отдельный оттиск
by: Турьян Я. И.
Published: (Ленинград, Наука, 1977)

Уравнения переноса заряда на органическое вещество, адсорбированное на ртути: отдельный оттиск
by: Эршлер А. Б.
Published: (Москва, [Б. и.], 1973)

Физико-химические основы электролиза хлоридов титана в расплавах с растворимым анодом: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук
by: Тишура Т. А.
Published: (Киев, [Б. и.], 1963)

Каталитические полярографические токи роданидных комплексов никеля. Кинетика комплексообразования: отдельный оттиск
by: Турьян Я. И.
Published: (Москва, [Б. и.], 1971)

Электрохимия: прошедшие тридцать и будущие тридцать лет: пер. с англ.
Published: (Москва, Химия, 1982)

Исследование квазиобратимых процессов в электрохимических системах, включая тонкопленочные, и выяснение возможности их применения для физико-химических и аналитических целей: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук; спец. 02.00.04
by: Гейнеман А. Э. Аркадий Эдмундович
Published: (Томск, [Б. и.], 1978)

Т. 29; Электрохимия
Published: (1989)