|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
140952 |
| 005 |
20231101220902.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785969203044
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\152728
|
| 090 |
|
|
|a 140952
|
| 100 |
|
|
|a 20080716d2009 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники
|e учебное пособие
|f С. А. Гаврилов, А. Н. Белов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Высшее образование
|d 2009
|
| 215 |
|
|
|a 257 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Высшее образование. Основы наук
|
| 318 |
|
|
|5 63413507
|a Нанопанорама - 2008
|p Учебники и учебные пособия
|b выставка
|
| 320 |
|
|
|a Литература: с. 256-257.
|
| 330 |
|
|
|a Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Для студентов, обучающихся по специальностям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 010803 (014100) «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы, 210100 (550700) «Электроника и микроэлектроника (бакалавр)», а также для аспирантов, научных работников и инженеров.
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\281038
|y 978-5-9692-0304-4
|t Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники
|o учебное пособие
|f С. А. Гаврилов, А. Н. Белов
|c Москва
|n Высшее образование
|d 2009
|p 1 Мультимедиа CD-ROM
|s Электронные учебники издательства "Юрайт"
|a Гаврилов, Сергей Александрович
|
| 606 |
1 |
|
|a Электрохимия
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\21014
|9 46066
|
| 610 |
1 |
|
|a электродные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a электрохимические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a анодное растворение
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a твердотельные наноструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a анодные оксидные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a катодное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 544.6(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Гаврилов
|b С. А.
|g Сергей Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Белов
|b А. Н.
|g Алексей Николаевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080716
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211020
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 72/20080714
|d 2
|e 210,00
|f АНЛ:1
|f ЧЗТЛ:1
|
