Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Zusammenfassung: | Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Для студентов, обучающихся по специальностям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 010803 (014100) «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы, 210100 (550700) «Электроника и микроэлектроника (бакалавр)», а также для аспирантов, научных работников и инженеров. |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Москва, Высшее образование, 2009
|
| Schriftenreihe: | Высшее образование. Основы наук |
| Schlagworte: | |
| Format: | Buch |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=140952 |
| Beschreibung: | 257 с. ил. |
|---|---|
| Zusammenfassung: | Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Для студентов, обучающихся по специальностям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 010803 (014100) «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы, 210100 (550700) «Электроника и микроэлектроника (бакалавр)», а также для аспирантов, научных работников и инженеров. |
| ISBN: | 9785969203044 |