MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 140256
005 20231031142012.0
010 |a 7040176637 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\151937 
090 |a 140256 
100 |a 20080624d2005 k y0engy50 ba 
101 0 |a eng 
102 |a CN 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Micro-Nanofabrication: Technologies and Applications  |f Z. Cui 
210 |a Chilton  |c Springer  |d 2005 
215 |a 304 p.  |c il. 
320 |a Библиография в конце частей. 
610 1 |a материалы 
610 1 |a материаловедение 
610 1 |a микротехнологии 
610 1 |a нанотехнологии 
610 1 |a наноматериалы 
610 1 |a изготовление 
610 1 |a технологии 
610 1 |a исследование 
610 1 |a английский язык 
675 |a 620.3  |v 3 
700 1 |a Cui  |b Z.  |g Zheng 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20080624  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20080702  |g PSBO 
942 |c BK