MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 139961
005 20231031141923.0
010 |a 5343008240 
020 |a RU  |b 91-34511 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\151628 
090 |a 139961 
100 |a 20080617d1991 k y0rusy5003 ca 
101 0 |a rus 
102 |a BY 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Компоненты МОП-интегральных микросхем  |f Н. В. Румак  |g Академия наук Белорусской ССР (АН БССР), Физико-технический институт (ФТИ); под ред. А. П. Достанко 
210 |a Минск  |c Наука и техника  |d 1991 
215 |a 311 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 298-309. 
610 1 |a интегральные микросхемы 
610 1 |a МДП-структуры 
610 1 |a кремниевые пластины 
610 1 |a подзатворные диэлектрики 
610 1 |a затворы 
610 1 |a изолирующие слои 
610 1 |a контакты 
610 1 |a межсоединения 
675 |a 621.382.049.774  |v 3 
700 1 |a Румак  |b Н. В.  |g Николай Владимирович  |4 070 
702 1 |a Достанко  |b А. П.  |4 340 
712 0 2 |a Академия наук Белорусской ССР (АН БССР)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |c (Минск)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\12058 
801 0 |a RU  |b RuMRKP  |c 19950417  |g psbo 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20080617  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20100316  |g PSBO 
942 |c BK