|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
139961 |
| 005 |
20231031141923.0 |
| 010 |
|
|
|a 5343008240
|
| 020 |
|
|
|a RU
|b 91-34511
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\151628
|
| 090 |
|
|
|a 139961
|
| 100 |
|
|
|a 20080617d1991 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Компоненты МОП-интегральных микросхем
|f Н. В. Румак
|g Академия наук Белорусской ССР (АН БССР), Физико-технический институт (ФТИ); под ред. А. П. Достанко
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Наука и техника
|d 1991
|
| 215 |
|
|
|a 311 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 298-309.
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a МДП-структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a кремниевые пластины
|
| 610 |
1 |
|
|a подзатворные диэлектрики
|
| 610 |
1 |
|
|a затворы
|
| 610 |
1 |
|
|a изолирующие слои
|
| 610 |
1 |
|
|a контакты
|
| 610 |
1 |
|
|a межсоединения
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.774
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Румак
|b Н. В.
|g Николай Владимирович
|4 070
|
| 702 |
|
1 |
|a Достанко
|b А. П.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук Белорусской ССР (АН БССР)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|c (Минск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\12058
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080617
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100316
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|