MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 138555
005 20231031141503.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\150130 
090 |a 138555 
100 |a 20080527d1963 k y0rusy50 ca 
101 1 |a rus  |c ger 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Тонкие пленки, их изготовление и измерение  |e пер. с нем.  |f С. Метфессель 
210 |a Москва  |a Ленинград  |c Госэнергоиздат  |d 1963 
215 |a 272 с.  |c ил. 
320 |a Библиография в конце глав. 
610 1 |a тонкие пленки 
610 1 |a физические свойства 
610 1 |a строение 
610 1 |a измерение 
610 1 |a получение 
610 1 |a толщина 
610 1 |a изготовление 
675 |a 539.2  |v 3 
700 1 |a Метфессель  |b С. 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20080527  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20140421  |g PSBO 
942 |c BK