Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло - Александров Л. Н. Леонид Наумович; Бочкова Р. В. Раиса Васильевна; Коган А. Н. Алла Нахмановна; Тихонова Н. П. Нина Петровна (Новосибирск, Наука, 1991)