|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
137004 |
| 005 |
20231031140848.0 |
| 010 |
|
|
|a 5020296961
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\148490
|
| 090 |
|
|
|a 137004
|
| 100 |
|
|
|a 20080503d1991 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло
|f Л. Н. Александров [и др.]
|g Академия наук СССР (АН СССР), Сибирское отделение (СО), Институт физики полупроводников (ИФП)
|
| 210 |
|
|
|a Новосибирск
|c Наука
|d 1991
|
| 215 |
|
|
|a 168 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 150-162.
|
| 610 |
1 |
|
|a моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a рост
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a методы Монте-Карло
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a вычислительные эксперименты
|
| 610 |
1 |
|
|a методики
|
| 675 |
|
|
|a 539.23
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Александров
|b Л. Н.
|g Леонид Наумович
|
| 701 |
|
1 |
|a Бочкова
|b Р. В.
|g Раиса Васильевна
|
| 701 |
|
1 |
|a Коган
|b А. Н.
|g Алла Нахмановна
|
| 701 |
|
1 |
|a Тихонова
|b Н. П.
|g Нина Петровна
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Сибирское отделение (СО)
|b Институт физики полупроводников (ИФП)
|c (Новосибирск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11385
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080503
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150110
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
