|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
136180 |
| 005 |
20231031140343.0 |
| 010 |
|
|
|a 5020068179
|
| 020 |
|
|
|a RU
|b 92-10278ж
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\147580
|
| 090 |
|
|
|a 136180
|
| 100 |
|
|
|a 20080419a1991 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Микроструктурирование тонких пленок
|f Академия наук СССР (АН СССР), Физико-технологический институт (ФТИ); под ред. А. А. Орликовского
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1991
|
| 215 |
|
|
|a 112 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Труды ФТИАН
|h Т. 2
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце статей
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a микроструктурирование
|
| 610 |
1 |
|
|a схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a литография
|
| 610 |
1 |
|
|a моделирование
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.772
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Орликовский
|b А. А.
|g Александр Александрович
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Физико-технологический институт (ФТИ)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\13856
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080419
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20090114
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
