Микроструктурирование тонких пленок

Библиографические подробности
Автор-организация: Академия наук СССР (АН СССР) Физико-технологический институт (ФТИ)
Другие авторы: Орликовский А. А. Александр Александрович (340)
Язык:русский
Опубликовано: Москва, Наука, 1991
Серии:Труды ФТИАН
Предметы:
Формат: Книга
Запись в KOHA:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=136180
Описание
Объем:112 с. ил.
ISBN:5020068179