• English
    • Deutsch
    • Español
    • Français
    • Italiano
    • 日本語
    • Nederlands
    • Português
    • Português (Brasil)
    • 中文(简体)
    • 中文(繁體)
    • Türkçe
    • עברית
    • Gaeilge
    • Cymraeg
    • Ελληνικά
    • Català
    • Euskara
    • Русский
    • Čeština
    • Suomi
    • Svenska
    • polski
    • Dansk
    • slovenščina
    • اللغة العربية
    • বাংলা
    • Galego
    • Tiếng Việt
    • Hrvatski
    • हिंदी
    • Հայերէն
    • Українська
Avançada
  • Микроструктурирование тонких п...
  • Citar
  • Enviar por SMS
  • Enviar por email
  • Imprimir
  • Exportar registo
    • Exportar para RefWorks
    • Exportar para EndNoteWeb
    • Exportar para EndNote
  • Permanent link
Микроструктурирование тонких пленок

Микроструктурирование тонких пленок

Detalhes bibliográficos
Autor Corporativo: Академия наук СССР (АН СССР) Физико-технологический институт (ФТИ)
Outros Autores: Орликовский А. А. Александр Александрович (редактор)
Idioma:russo
Publicado em: Москва, Наука, 1991
Colecção:Труды ФТИАН
Assuntos:
тонкие пленки
микроструктурирование
схемы
литография
моделирование
Formato: Livro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=136180
  • Exemplares
  • Descrição
  • Registos relacionados
  • Registo fonte
Descrição
Descrição Física:112 с. ил.
ISBN:5020068179

Registos relacionados

  • Технология толстых и тонких пленок: пер. с англ.
    Publicado em: (Москва, Мир, 1972)
  • Физические основы микротехнологии: пер. с англ.
    Por: Броудай И. Ивор
    Publicado em: (Москва, Мир, 1985)
  • Т. 2; Технология тонких пленок
    Publicado em: (1977)
  • Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники: пер. с англ.
    Por: Джоветт Ч. Е. Чарльз Е.
    Publicado em: (Москва, Металлургия, 1980)
  • Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
    Por: Васильев В. Ю.
    Publicado em: (Новосибирск, НГТУ, 2021)