• English
    • Deutsch
    • Español
    • Français
    • Italiano
    • 日本語
    • Nederlands
    • Português
    • Português (Brasil)
    • 中文(简体)
    • 中文(繁體)
    • Türkçe
    • עברית
    • Gaeilge
    • Cymraeg
    • Ελληνικά
    • Català
    • Euskara
    • Русский
    • Čeština
    • Suomi
    • Svenska
    • polski
    • Dansk
    • slovenščina
    • اللغة العربية
    • বাংলা
    • Galego
    • Tiếng Việt
    • Hrvatski
    • हिंदी
    • Հայերէն
    • Українська
Розширений
  • Микроструктурирование тонких п...
  • Цитувати
  • Відправити по sms
  • Відправити е-поштою
  • Друк
  • Експортувати запис
    • Екпортувати в RefWorks
    • Екпортувати в EndNoteWeb
    • Екпортувати в EndNote
  • Постійне посилання
Микроструктурирование тонких пленок

Микроструктурирование тонких пленок

Бібліографічні деталі
Співавтор: Академия наук СССР (АН СССР) Физико-технологический институт (ФТИ)
Інші автори: Орликовский А. А. Александр Александрович (340)
Мова:Російська
Опубліковано: Москва, Наука, 1991
Серія:Труды ФТИАН
Предмети:
тонкие пленки
микроструктурирование
схемы
литография
моделирование
Формат: Книга
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=136180
  • Примірники
  • Опис
  • Схожі ресурси
  • Службовий вигляд
Опис
Фізичний опис:112 с. ил.
ISBN:5020068179

Схожі ресурси

  • Технология толстых и тонких пленок пер. с англ.
    Опубліковано: (Москва, Мир, 1972)
  • Физические основы микротехнологии пер. с англ.
    за авторством: Броудай И. Ивор
    Опубліковано: (Москва, Мир, 1985)
  • Технология тонких и толстых пленок для микроэлектроники пер. с англ.
    за авторством: Джоветт Ч. Е. Чарльз Е.
    Опубліковано: (Москва, Металлургия, 1980)
  • Получение и свойства тонких пленок сборник научных трудов
    Опубліковано: (Киев, Наукова думка, 1982)
  • Аттестация состояния поверхности тонких плёнок AG при пропускании электрического тока высокой плотности
    за авторством: Пыхтин Н. В.
    Опубліковано: (2003)