Московский государственный институт стали и сплавов (МИСиС), Кожитов Л. В. Лев Васильевич, Косушкин В. Г. Виктор Григорьевич, Крапухин В. В. Всеволод Валерьевич, & Пархоменко Ю. Н. Юрий Николаевич. (2007). Технология материалов микро- и наноэлектроники. Москва, Изд-во МИСиС, 2007.
Chicago Style (17th ed.) CitationМосковский государственный институт стали и сплавов (МИСиС), Кожитов Л. В. Лев Васильевич, Косушкин В. Г. Виктор Григорьевич, Крапухин В. В. Всеволод Валерьевич, and Пархоменко Ю. Н. Юрий Николаевич. Технология материалов микро- и наноэлектроники. Москва, Изд-во МИСиС, 2007, 2007.
MLA (9th ed.) CitationМосковский государственный институт стали и сплавов (МИСиС), et al. Технология материалов микро- и наноэлектроники. Москва, Изд-во МИСиС, 2007, 2007.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.