Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Библиографические подробности
Главный автор:	Данилина Т. И.
Автор-организация:	Томский институт радиоэлектроники и электронной техники (ТИРиЭТ)
Другие авторы:	Воробьев А. А. Александр Акимович (727), Крейндель Ю. Е.
Язык:	русский
Опубликовано:	Томск, 1970
Предметы:	диэлектрические пленки ионно-плазменные методы получение электроны магнитное поле ионные пучки эксперименты исследование диссертации труды учёных ТПУ
Формат:	Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=135506

Схожие документы

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05299
по: Данилина Т. И.
Опубликовано: (Томск, 1970)

Гибкие материалы и структуры на основе фторированного графена для мемристоров автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Иванов А. И. Артем Ильич
Опубликовано: (Новосибирск, [Б. и.], 2021)

Неорганические диэлектрики в электронной технике сборник научных трудов
Опубликовано: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
по: Папков В. С. Владимир Сергеевич
Опубликовано: (Москва, Энергия, 1979)

Формирование высокоэнтропийного сплава методами ионно-плазменных технологий
Опубликовано: (2020)

Ионно-активированная кристаллизация пленок
по: Лютович А. С.
Опубликовано: (Ташкент, Фан, 1982)

Введение в интегральную оптику [монография]
по: Гончаренко А. М. Андрей Маркович
Опубликовано: (Минск, Наука и техника, 1975)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
по: Смирнова К. И.
Опубликовано: (Томск, 1971)

Пробой тонких диэлектрических пленок
по: Воробьев Г. А. Григорий Абрамович
Опубликовано: (Москва, Советское радио, 1977)

Установка для измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок
по: Булычев А. А.
Опубликовано: (2003)

Т. 2: Технологические аспекты
Опубликовано: (2011)

Получение и свойства тонких пленок сборник научных трудов
Опубликовано: (Киев, Наукова думка, 1982)

Быстрые термообработки в технологии СБИС
по: Пилипенко В. А. Владимир Александрович
Опубликовано: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2004)

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
по: Румак Н. В. Николай Владимирович
Опубликовано: (Минск, Навука i тэхнiка, 1990)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Опубликовано: (Томск, 1998)

Физика и технология полупроводниковых пленок
по: Фреик Д. М. Дмитрий Михайлович
Опубликовано: (Львов, Вища школа, 1988)

Ионно-плазменная обработка материалов курс лекций
по: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Опубликовано: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
по: Шандра З. А.
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 1972)

Т. 3 : Тонкие диэлектрические пленки
Опубликовано: (1973)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
по: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 1998)

Магнетронные распылительные системы
по: Данилин Б. С. Борис Степанович
Опубликовано: (Москва, Радио и связь, 1982)

Система автоматизированного измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок
по: Булычева А. А.
Опубликовано: (2003)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Опубликовано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Опубликовано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для бакалавриата и магистратуры
Опубликовано: (Москва, Юрайт, 2016)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.15
по: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Опубликовано: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Т. 5 : Ионно-пучковая технология
Опубликовано: (1989)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Опубликовано: (Томск, 2023)

Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме
Опубликовано: (Москва, Советское радио, 1975)

Технология изготовления ферромагнитных пленок
по: Апокин И. А. Игорь Алексеевич
Опубликовано: (Москва, Энергия, 1966)

Структурные и электрофизические свойства плёнок нестехиометрических оксидов гафния, циркония и тантала, синтезированных методом ионно-лучевого распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 1.3.8
по: Герасимова А. А. Алина Константиновна
Опубликовано: (Новосибирск, 2023)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
по: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Опубликовано: (Минск, Наука и техника, 1989)

Структура и прочность слоистых дисперсноупрочненных пленок
по: Ильинский А. И. Александр Иванович
Опубликовано: (Москва, Металлургия, 1986)

Массоперенос в тонких пленках
по: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Опубликовано: (Минск, Наука и техника, 1980)

Оптические покрытия
по: Путилин Э. С.
Опубликовано: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Thin Films and Multilayers for Electronics study aid
Опубликовано: (Tomsk, TPU Publishing House, 2009)

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
по: Васильев В. Ю.
Опубликовано: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 1.3.11
по: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Опубликовано: (Томск, 2024)

Проблемы эпитаксии полупроводниковых пленок
Опубликовано: (Новосибирск, Наука, 1972)

Диэлектрические свойства пленок полимерных композитов с сегнетоэлектрическим наполнителем
Опубликовано: (2004)