Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Данилина Т. И.
Institution som forfatter:	Томский институт радиоэлектроники и электронной техники (ТИРиЭТ)
Andre forfattere:	Воробьев А. А. Александр Акимович (научный руководитель), Крейндель Ю. Е.
Sprog:	russisk
Udgivet:	Томск, 1970
Fag:	Никелевые пленки, тонкие > Получение Диэлектрические материалы > В микроэлектронике диэлектрические пленки ионно-плазменные методы получение электроны магнитное поле ионные пучки эксперименты исследование диссертации труды учёных ТПУ
Format:	Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=135506

Lignende værker

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05299
af: Данилина Т. И.
Udgivet: (Томск, 1970)

Гибкие материалы и структуры на основе фторированного графена для мемристоров: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
af: Иванов А. И. Артем Ильич
Udgivet: (Новосибирск, [Б. и.], 2021)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
af: Папков В. С. Владимир Сергеевич
Udgivet: (Москва, Энергия, 1979)

Неорганические диэлектрики в электронной технике: сборник научных трудов
Udgivet: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Ионно-активированная кристаллизация пленок
af: Лютович А. С.
Udgivet: (Ташкент, Фан, 1982)

Получение и свойства тонких пленок: сборник научных трудов
Udgivet: (Киев, Наукова думка, 1982)

Пробой тонких диэлектрических пленок
af: Воробьев Г. А. Григорий Абрамович
Udgivet: (Москва, Советское радио, 1977)

Формирование высокоэнтропийного сплава методами ионно-плазменных технологий; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
Udgivet: (2020)

Физика и технология полупроводниковых пленок
af: Фреик Д. М. Дмитрий Михайлович
Udgivet: (Львов, Вища школа, 1988)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
af: Смирнова К. И.
Udgivet: (Томск, 1971)

Установка для измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок; Университетская научно-практическая отчетная конференция студентов и молодых ученых; 14-16 мая 2003, г. Томск
af: Булычев А. А.
Udgivet: (2003)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
af: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Udgivet: (Томск, 1998)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
af: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 1998)

Введение в интегральную оптику: [монография]
af: Гончаренко А. М. Андрей Маркович
Udgivet: (Минск, Наука и техника, 1975)

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
af: Румак Н. В. Николай Владимирович
Udgivet: (Минск, Навука i тэхнiка, 1990)

Система автоматизированного измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок; Радиационная физика и химия неорганических материалов. РФХ - 2003
af: Булычева А. А.
Udgivet: (2003)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
af: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Udgivet: (Томск, 2023)

Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
af: Шандра З. А.
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 1972)

Быстрые термообработки в технологии СБИС
af: Пилипенко В. А. Владимир Александрович
Udgivet: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2004)

Магнетронные распылительные системы
af: Данилин Б. С. Борис Степанович
Udgivet: (Москва, Радио и связь, 1982)

Электронно-ионные устройства для нанесения тонкопленочных покрытий
af: Белевский В. П. Владимир Петрович
Udgivet: (Киев, о-во "Знание" УССР, 1982)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
af: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2005)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
af: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2005)

Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
af: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Udgivet: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Технология изготовления ферромагнитных пленок
af: Апокин И. А. Игорь Алексеевич
Udgivet: (Москва, Энергия, 1966)

Структурные и электрофизические свойства плёнок нестехиометрических оксидов гафния, циркония и тантала, синтезированных методом ионно-лучевого распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.8
af: Герасимова А. А. Алина Константиновна
Udgivet: (Новосибирск, 2023)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
af: Ли Цзень Фень
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2006)

Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме
Udgivet: (Москва, Советское радио, 1975)

Т. 3 : Тонкие диэлектрические пленки; Физика диэлектриков и перспективы ее развития
Udgivet: (1973)

Проблемы эпитаксии полупроводниковых пленок
Udgivet: (Новосибирск, Наука, 1972)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Udgivet: (2011)

Диэлектрические свойства пленок полимерных композитов с сегнетоэлектрическим наполнителем; Наукоемкие технологии; № 1
Udgivet: (2004)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
af: Ли Цзень Фень
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2006)

Вакуумное нанесение тонких пленок
af: Данилин Б. С. Борис Степанович
Udgivet: (Москва, Энергия, 1967)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
af: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Udgivet: (Минск, Наука и техника, 1989)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии: учебник для бакалавриата и магистратуры
Udgivet: (Москва, Юрайт, 2016)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
af: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Udgivet: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
af: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Udgivet: (Томск, 2024)