Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

書目詳細資料
主要作者:	Данилина Т. И.
企業作者:	Томский институт радиоэлектроники и электронной техники (ТИРиЭТ)
其他作者:	Воробьев А. А. Александр Акимович (научный руководитель), Крейндель Ю. Е.
語言:	俄语
出版:	Томск, 1970
主題:	Никелевые пленки, тонкие > Получение Диэлектрические материалы > В микроэлектронике диэлектрические пленки ионно-плазменные методы получение электроны магнитное поле ионные пучки эксперименты исследование диссертации труды учёных ТПУ
格式:	圖書
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=135506

相似書籍

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05299
由: Данилина Т. И.
出版: (Томск, 1970)

Гибкие материалы и структуры на основе фторированного графена для мемристоров: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
由: Иванов А. И. Артем Ильич
出版: (Новосибирск, [Б. и.], 2021)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
由: Папков В. С. Владимир Сергеевич
出版: (Москва, Энергия, 1979)

Неорганические диэлектрики в электронной технике: сборник научных трудов
出版: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Ионно-активированная кристаллизация пленок
由: Лютович А. С.
出版: (Ташкент, Фан, 1982)

Пробой тонких диэлектрических пленок
由: Воробьев Г. А. Григорий Абрамович
出版: (Москва, Советское радио, 1977)

Формирование высокоэнтропийного сплава методами ионно-плазменных технологий; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
出版: (2020)

Введение в интегральную оптику: [монография]
由: Гончаренко А. М. Андрей Маркович
出版: (Минск, Наука и техника, 1975)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
由: Смирнова К. И.
出版: (Томск, 1971)

Получение и свойства тонких пленок: сборник научных трудов
出版: (Киев, Наукова думка, 1982)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
出版: (2011)

Установка для измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок; Университетская научно-практическая отчетная конференция студентов и молодых ученых; 14-16 мая 2003, г. Томск
由: Булычев А. А.
出版: (2003)

Физика и технология полупроводниковых пленок
由: Фреик Д. М. Дмитрий Михайлович
出版: (Львов, Вища школа, 1988)

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
由: Румак Н. В. Николай Владимирович
出版: (Минск, Навука i тэхнiка, 1990)

Быстрые термообработки в технологии СБИС
由: Пилипенко В. А. Владимир Александрович
出版: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2004)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
由: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
出版: (Томск, 1998)

Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
由: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
出版: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
由: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
出版: (Томск, [Б. и.], 1998)

Т. 3 : Тонкие диэлектрические пленки; Физика диэлектриков и перспективы ее развития
出版: (1973)

Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
由: Шандра З. А.
出版: (Томск, [Б. и.], 1972)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
出版: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
出版: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Магнетронные распылительные системы
由: Данилин Б. С. Борис Степанович
出版: (Москва, Радио и связь, 1982)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии: учебник для бакалавриата и магистратуры
出版: (Москва, Юрайт, 2016)

Система автоматизированного измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок; Радиационная физика и химия неорганических материалов. РФХ - 2003
由: Булычева А. А.
出版: (2003)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
由: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
出版: (Томск, [Б. и.], 2005)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
由: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
出版: (Томск, [Б. и.], 2005)

Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме
出版: (Москва, Советское радио, 1975)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
由: Хамдохов А. З. Алим Залимович
出版: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
由: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
出版: (Томск, 2023)

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
由: Васильев В. Ю.
出版: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Технология изготовления ферромагнитных пленок
由: Апокин И. А. Игорь Алексеевич
出版: (Москва, Энергия, 1966)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
由: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
出版: (Минск, Наука и техника, 1989)

Структура и прочность слоистых дисперсноупрочненных пленок
由: Ильинский А. И. Александр Иванович
出版: (Москва, Металлургия, 1986)

Структурные и электрофизические свойства плёнок нестехиометрических оксидов гафния, циркония и тантала, синтезированных методом ионно-лучевого распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.8
由: Герасимова А. А. Алина Константиновна
出版: (Новосибирск, 2023)

Т. 5 : Ионно-пучковая технология; Физические основы лазерной и пучковой технологии
出版: (1989)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
由: Ли Цзень Фень
出版: (Томск, [Б. и.], 2006)

Проблемы эпитаксии полупроводниковых пленок
出版: (Новосибирск, Наука, 1972)

Оптические покрытия
由: Путилин Э. С.
出版: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
由: Твердохлеб П. Е.
出版: (Новосибирск, НГТУ, 2019)