|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
135506 |
| 005 |
20231101220545.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\146860
|
| 090 |
|
|
|a 135506
|
| 100 |
|
|
|a 20080411d1970 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок
|e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|f Т. И. Данилина
|g Томский институт радиоэлектроники и электронной техники (ТИРиЭТ) ; А. А. Воробьев , Ю. Е. Крейндель
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 1970
|
| 215 |
|
|
|a 131 л.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 119 - 129 ( 151 назв.)
|
| 606 |
1 |
|
|a Никелевые пленки, тонкие
|x Получение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\46222
|9 65390
|
| 606 |
1 |
|
|a Диэлектрические материалы
|x В микроэлектронике
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\9809
|9 36979
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменные методы
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a электроны
|
| 610 |
1 |
|
|a магнитное поле
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные пучки
|
| 610 |
1 |
|
|a эксперименты
|
| 610 |
1 |
|
|a исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 539.23(04)
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002(04)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Данилина
|b Т. И.
|
| 702 |
|
1 |
|a Воробьев
|b А. А.
|c российский физик
|c ректор Томского политехнического института, профессор
|f 1909-1981
|g Александр Акимович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\12805
|4 727
|
| 702 |
|
1 |
|a Крейндель
|b Ю. Е.
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский институт радиоэлектроники и электронной техники (ТИРиЭТ)
|c (1962-1971)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\44
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080411
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20201023
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
