Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author: Данилина Т. И.
Corporate Author: Томский институт радиоэлектроники и электронной техники (ТИРиЭТ)
Other Authors: Воробьев А. А. Александр Акимович (научный руководитель), Крейндель Ю. Е.
Language:Russian
Published: Томск, 1970
Subjects:
Никелевые пленки, тонкие > Получение
Диэлектрические материалы > В микроэлектронике
диэлектрические пленки
ионно-плазменные методы
получение
электроны
магнитное поле
ионные пучки
эксперименты
исследование
диссертации
труды учёных ТПУ
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=135506
Description
Physical Description:131 л. ил.

Similar Items