|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
135407 |
| 005 |
20231101220541.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\146752
|
| 090 |
|
|
|a 135407
|
| 100 |
|
|
|a 20080410d1980 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
|e учебное пособие для среднего профессионально-технического образования
|
| 205 |
|
|
|a 2-е изд., перераб. и доп.
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Высшая школа
|d 1980
|
| 215 |
|
|
|a 328 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|9 572
|a Библиогр.: с. 324
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Производство
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50692
|9 69343
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a химические материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a электродные материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a p-металлы
|
| 610 |
1 |
|
|a пластмассы
|
| 610 |
1 |
|
|a пассивные элементы
|
| 610 |
1 |
|
|a вспомогательные материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a электролиты
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль качества
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002(075.3)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Курносов
|b А. И.
|g Анатолий Иванович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080228
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20210413
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
