MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 134169
005 20231101220455.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\145420 
090 |a 134169 
100 |a 20080326d1961 k y0rusy50 ca 
101 1 |a rus  |c eng 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Технология полупроводниковых материалов  |e пер. с англ.  |f под ред. М. И. Иглицына 
210 |a Москва  |c Оборонгиз  |d 1961 
215 |a 314 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр. в конце ст. 
606 |a Полупроводники  |x Производство  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50584  |9 69237 
610 1 |a полупроводниковые материалы 
610 1 |a технология 
610 1 |a свойства 
610 1 |a электроника 
610 1 |a германий 
610 1 |a очистка 
610 1 |a получение 
610 1 |a термическая обработка 
610 1 |a качество 
675 |a 621.315.592.002  |v 3 
702 1 |a Иглицын  |b М. И.  |4 340 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20080326  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20220624  |g PSBO 
942 |c BK