Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов

Bibliografiska uppgifter
Parent link:Современные техника и технологии: 13-я Международная научно-практическая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-30 марта 2007 г./ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2007
Т. 3.— 2007.— С. 208-210
Huvudupphovsman: Жукова М. А.
Övriga upphovsmän: Третьяков Р. С.
Publicerad: 2007
Ämnen:
Materialtyp: Bokavsnitt
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=134040

Liknande verk