Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
| Parent link: | Современные техника и технологии: 13-я Международная научно-практическая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-30 марта 2007 г./ Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2007 Т. 3.— 2007.— С. 208-210 |
|---|---|
| 第一著者: | |
| その他の著者: | |
| 言語: | ロシア語 |
| 出版事項: |
2007
|
| 主題: | |
| フォーマット: | 図書の章 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=134040 |