|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
134040 |
| 005 |
20231031135535.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\145285
|
| 090 |
|
|
|a 134040
|
| 100 |
|
|
|a 20080325d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов
|f М. А. Жукова, Р. С. Третьяков
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 4 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\136926
|t Современные техника и технологии
|o 13-я Международная научно-практическая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-30 марта 2007 г.
|o труды в 3 т.
|f Томский политехнический университет (ТПУ)
|d 2007
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\136414
|t Т. 3
|v С. 208-210
|d 2007
|p 400 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a ускорение ионов
|
| 610 |
1 |
|
|a распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a жидкофазные мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a твёрдые мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a распыление металлов
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетроны
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Жукова
|b М. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Третьяков
|b Р. С.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080325
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20141020
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
