Жукова М. А. & Третьяков Р. С. (2007). Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3. 2007.
Dyfyniad Arddull ChicagoЖукова М. А. and Третьяков Р. С. Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3. 2007, 2007.
Dyfyniad MLAЖукова М. А. and Третьяков Р. С. Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3. 2007, 2007.
Rhybudd: Mae'n bosib nad yw'r dyfyniadau hyn bob amser yn 100% cywir.