Исследование электрофизических характеристик и условий образования полимерных пленок из газовой фазы: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author: Саноян А. Г.
Corporate Author: Новосибирский электровакуумный институт
Other Authors: Катаев Г. А. (научный руководитель)
Language:Russian
Published: Новосибирск, 1971
Subjects:
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=133920

MARC

LEADER 00000nbm0a2200000 4500
001 133920
005 20231101220446.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\145163 
090 |a 133920 
100 |a 20080324d1971 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a m 001zy 
200 1 |a Исследование электрофизических характеристик и условий образования полимерных пленок из газовой фазы  |e Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук  |f А. Г. Саноян  |g Новосибирский электровакуумный институт ; науч. рук. Г. А. Катаев 
210 |a Новосибирск  |d 1971 
215 |a 149 л.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 143-149 (129 назв.) 
610 1 |a диссертации 
610 1 |a полимерные пленки 
610 1 |a газовые фазы 
610 1 |a электрофизические характеристики 
610 1 |a микроэлектроника 
610 1 |a органические соединения 
610 1 |a синтез 
610 1 |a покрытия 
610 1 |a электропроводность 
610 1 |a электрическое старение 
675 |a 679.56(04)  |v 3 
700 1 |a Саноян  |b А. Г. 
702 1 |a Катаев  |b Г. А.  |4 727 
712 0 2 |a Новосибирский электровакуумный институт  |9 25557 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20080324  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20180305  |g RCR 
942 |c BK