Борисенко А. С. Александр Сергеевич & Бавыкин Н. И. Николай Иванович. (1983). Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств: учебник для среднего специального образования. Москва, Машиностроение, 1983.
Cita Chicago (17th ed.)Борисенко А. С. Александр Сергеевич i Бавыкин Н. И. Николай Иванович. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств: учебник для среднего специального образования. Москва, Машиностроение, 1983, 1983.
Cita MLA (9th ed.)Борисенко А. С. Александр Сергеевич i Бавыкин Н. И. Николай Иванович. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств: учебник для среднего специального образования. Москва, Машиностроение, 1983, 1983.
Atenció: Aquestes cites poden no estar 100% correctes.