|
|
|
|
| LEADER |
00000nbm0a2200000 4500 |
| 001 |
132785 |
| 005 |
20231031135115.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\143779
|
| 090 |
|
|
|a 132785
|
| 100 |
|
|
|a 20080306d1971 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a m 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование пробоя пленки моноокиси кремния в системе Al-Sio-Al
|e Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
|f В. А. Мухачев
|g Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР) ; науч. рук. Г. А. Воробьев
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 1971
|
| 215 |
|
|
|a 166 л.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 156-166 (174 назв.)
|
| 610 |
1 |
|
|a диссертации
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a пробой
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые диэлектрики
|
| 610 |
1 |
|
|a закономерности
|
| 610 |
1 |
|
|a конденсаторы
|
| 610 |
1 |
|
|a электрические измерения
|
| 610 |
1 |
|
|a образцы
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.616(04)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Мухачев
|b В. А.
|
| 702 |
|
1 |
|a Воробьев
|b Г. А.
|c российский ученый
|c профессор кафедры техники высоких напряжений ТПИ
|f 1925-
|g Григорий Абрамович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\19775
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники (ТИАСУР)
|c (1971-1993)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\3065
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080306
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
