|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
131441 |
| 005 |
20231031134453.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 82-83616
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\142365
|
| 090 |
|
|
|a 131441
|
| 100 |
|
|
|a 20080218d1982 m a0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов
|e учебник
|f В. В. Крапухин, И. А. Соколов, Г. Д. Кузнецов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Металлургия
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 352 с.
|c ил.
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химические основы
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a учебники
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a термодинамика
|
| 610 |
1 |
|
|a фазовое равновесие
|
| 610 |
1 |
|
|a необратимые процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a массообмен
|
| 610 |
1 |
|
|a теплообмен
|
| 610 |
1 |
|
|a кинетика
|
| 610 |
1 |
|
|a гетерогенные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a атомные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a молекулярные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллизация
|
| 610 |
1 |
|
|a передача
|
| 610 |
1 |
|
|a теплота
|
| 610 |
1 |
|
|a излучение
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a ректификация
|
| 610 |
1 |
|
|a абсорбция
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a высокочистые элементы
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.59(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Крапухин
|b В. В.
|g Всеволод Валерьевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Соколов
|b И. А.
|g Игорь Александрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Кузнецов
|b Г. Д.
|g Геннадий Дмитриевич
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080218
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160801
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
