|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
131366 |
| 005 |
20231031134408.0 |
| 010 |
|
|
|a 5230044306
|
| 020 |
|
|
|a RU
|b 91-54530
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\142283
|
| 090 |
|
|
|a 131366
|
| 100 |
|
|
|a 20080216d1991 k a0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физико-химические аспекты технологии микро- и оптоэлектроники
|e межвузовский сборник научных трудов
|f Воронежский политехнический институт (ВПИ)
|
| 210 |
|
|
|a Воронеж
|c ВПИ
|d 1991
|
| 215 |
|
|
|a 132 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a оптоэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химические аспекты
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a сборники
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77:53
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.383
|v 3
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Воронежский политехнический институт (ВПИ)
|c (1962-1992)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\314
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080216
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20090303
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
