|
|
|
|
| LEADER |
00000nam2a2200000 4500 |
| 001 |
129821 |
| 005 |
20231101220212.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785902063292
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\140542
|
| 090 |
|
|
|a 129821
|
| 100 |
|
|
|a 20080128d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 101zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Т. 2
|
| 210 |
|
|
|d 2007
|
| 215 |
|
|
|a 667-1177 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце докладов.
|
| 320 |
|
|
|a Авторский указатель: с. 1171-1177.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\138435
|t Оборудование, технологии и аналитические системы для материаловедения, микро- и наноэлектроники
|o материалы V Российско-Японского семинара, Саратов, 18-19 июня 2007 г.
|o в 2 т.
|f Московский государственный институт стали и сплавов (МИСиС) ; Саратовский государственный университет (СГУ) ; под ред. Л. В. Кожитова
|v Т. 2
|d 2007
|
| 601 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\2285
|
| 601 |
0 |
2 |
|a Томский государственный университет (ТГУ)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\397
|
| 601 |
0 |
2 |
|a Волгоградский государственный технический университет
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\8083
|9 24467
|
| 610 |
1 |
|
|a материаловедение
|
| 610 |
1 |
|
|a наноэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a наука
|
| 610 |
1 |
|
|a образование
|
| 610 |
1 |
|
|a инновации
|
| 610 |
1 |
|
|a инновационная деятельность
|
| 610 |
1 |
|
|a инновационные разработки
|
| 675 |
|
|
|a 620.22(063)
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.382:53(063)
|v 3
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080128
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080208
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
