|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
129817 |
| 005 |
20231101220212.0 |
| 010 |
|
|
|a 5902740045
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\140533
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\76416
|
| 090 |
|
|
|a 129817
|
| 100 |
|
|
|a 20041223d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 111zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники)
|e материалы XIII Международной научно-технической конференции, Москва, 6-8 сентября 2007 г.
|f Центральный научно-исследовательский технологический институт "Техномаш"
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во ЦНИТИ Техномаш
|d 2007
|
| 215 |
|
|
|a 456 с.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Посвящается 50-летию освоения космоса.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 320 |
|
|
|a Авторский указатель: с. 455-456.
|
| 320 |
|
|
|a Список организаций, представленных на конференции: с. 3-4.
|
| 330 |
|
|
|a В настоящем сборнике публикуются материалы докладов XIII Международной научно-технической конференции «Высокие технологии в промышленности России» (Материалы и устройства функциональной электроники и нанофотоники) и XX Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике» по следующим направлениям: электронные технологии в машиностроении, вакуумное технологическое оборудование и системы автоматического управления, наноструктуры и фотонные кристаллы в оптоэлектронике, медицине и оптическом приборостроении, получение, свойства и применение тонких пленок в электронике и машиностроении, методы контроля функциональных свойств материалов электронной техники, измерительная и аналитическая техника, моделирование и информационное обеспечение разработок и исследований. В материалах конференции и симпозиума приводятся новые результаты теоретических и экспериментальных исследований, проведенных авторами в последнее время. Сборник рассчитан на специалистов в таких областях, как твердотельная электроника, оптическое приборостроение, микроэлектроника и нанофотоники, электронные технологии и вакуумное технологическое оборудование. Опубликованные материалы особенно полезны молодым ученым, аспирантам и студентам, специализирующимся в указанных направлениях. Посвящается 50-летию освоения космоса.
|
| 423 |
|
|
|t Тонкие пленки в электронике
|o материалы XX Международного симпозиума, Москва, 6-8 сентября 2007 г.
|
| 610 |
1 |
|
|a твердотельная электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a функциональная электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a наноматериалы
|
| 610 |
1 |
|
|a нанотехнологии
|
| 610 |
1 |
|
|a фотонные кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a оптоэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная техника
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-технические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a информационное обеспечение
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a конференции
|
| 610 |
1 |
|
|a симпозиумы
|
| 610 |
1 |
|
|a Москва
|
| 675 |
|
|
|a 621.38(063)
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77(063)
|v 3
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Центральный научно-исследовательский технологический институт "Техномаш"
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\6010
|9 24194
|
| 712 |
1 |
2 |
|a Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники)
|b международная научно-техническая конференция
|c материалы
|d 13
|e Москва
|f 2007
|
| 712 |
1 |
2 |
|a Тонкие пленки в электронике
|b международный симпозиум
|c материалы
|d 20
|e Москва
|f 2007
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080128
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080507
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
