|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
129302 |
| 005 |
20231031133247.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\139946
|
| 090 |
|
|
|a 129302
|
| 100 |
|
|
|a 20080122d1986 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология микросхем
|e учебное пособие
|f О. Д. Парфенов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Высшая школа
|d 1986
|
| 215 |
|
|
|a 320 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 317.
|
| 320 |
|
|
|a Предметный указатель: с. 318-319.
|
| 610 |
1 |
|
|a микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксия
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a сборка
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Парфенов
|b О. Д.
|g Олег Дмитриевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080122
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211213
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
