|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
124350 |
| 005 |
20231031130904.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\134582
|
| 090 |
|
|
|a 124350
|
| 100 |
|
|
|a 20071031d1979 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники
|f А. Т. Мягков, Е. М. Корсетов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1979
|
| 215 |
|
|
|a 312 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 305-310.
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a химико-технологическая аппаратура
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a агрессивно-стойкие материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a электромагнитные клапаны
|
| 610 |
1 |
|
|a пневмоприводные клапаны
|
| 610 |
1 |
|
|a насосы
|
| 610 |
1 |
|
|a центрифуги
|
| 610 |
1 |
|
|a форсунки
|
| 610 |
1 |
|
|a датчики агрессивных сред
|
| 610 |
1 |
|
|a командоаппараты
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Мягков
|b А. Т.
|g Алексей Тихонович
|
| 701 |
|
1 |
|a Корсетов
|b Е. М.
|g Евгений Михайлович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20071031
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150522
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
