Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur:	Мягков А. Т. Алексей Тихонович
Andere auteurs:	Корсетов Е. М. Евгений Михайлович
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:	Москва, Энергия, 1979
Onderwerpen:	микроэлектроника химико-технологическая аппаратура интегральные схемы производство оборудование агрессивно-стойкие материалы электромагнитные клапаны пневмоприводные клапаны насосы центрифуги форсунки датчики агрессивных сред командоаппараты
Formaat:	Boek
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=124350

Omschrijving
Fysieke beschrijving:	312 с. ил.

Gelijkaardige items