Мягков А. Т. Алексей Тихонович & Корсетов Е. М. Евгений Михайлович. (1979). Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники. Москва, Энергия, 1979.
Chicagoスタイル(17版)引用形式Мягков А. Т. Алексей Тихонович , Корсетов Е. М. Евгений Михайлович. Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники. Москва, Энергия, 1979, 1979.
MLA(9版)引用形式Мягков А. Т. Алексей Тихонович , Корсетов Е. М. Евгений Михайлович. Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники. Москва, Энергия, 1979, 1979.
警告: この引用は必ずしも正確ではありません.