Мягков А. Т. Алексей Тихонович & Корсетов Е. М. Евгений Михайлович. (1979). Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники. Москва, Энергия, 1979.
Chicago Style (17th ed.) CitationМягков А. Т. Алексей Тихонович and Корсетов Е. М. Евгений Михайлович. Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники. Москва, Энергия, 1979, 1979.
MLA (9th ed.) CitationМягков А. Т. Алексей Тихонович and Корсетов Е. М. Евгений Михайлович. Химико-технологическая аппаратура микроэлектроники. Москва, Энергия, 1979, 1979.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.