Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие

Бібліографічні деталі
Автор:	Мокеев О. К. Олег Константинович
Інші автори:	Романов А. С. Александр Сергеевич
Мова:	Російська
Опубліковано:	Москва, Высшая школа, 1979
Серія:	Профтехобразование: Радиоэлектроника
Предмети:	химическая обработка фотолитография производство полупроводниковые приборы микросхемы микроэлектронные схемы учебные пособия полупроводники технология травление фотошаблоны изготовление
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=123746

Схожі ресурси