Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Язык: | русский |
| Опубликовано: |
Москва, Высшая школа, 1979
|
| Серии: | Профтехобразование: Радиоэлектроника |
| Предметы: | |
| Формат: | Книга |
| Запись в KOHA: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=123746 |