Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие

書誌詳細
第一著者:	Мокеев О. К. Олег Константинович
その他の著者:	Романов А. С. Александр Сергеевич
言語:	ロシア語
出版事項:	Москва, Высшая школа, 1979
シリーズ:	Профтехобразование: Радиоэлектроника
主題:	химическая обработка фотолитография производство полупроводниковые приборы микросхемы микроэлектронные схемы учебные пособия полупроводники технология травление фотошаблоны изготовление
フォーマット:	図書
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=123746

類似資料