Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие

מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי:	Мокеев О. К. Олег Константинович
מחברים אחרים:	Романов А. С. Александр Сергеевич
שפה:	רוסית
יצא לאור:	Москва, Высшая школа, 1979
סדרה:	Профтехобразование: Радиоэлектроника
נושאים:	химическая обработка фотолитография производство полупроводниковые приборы микросхемы микроэлектронные схемы учебные пособия полупроводники технология травление фотошаблоны изготовление
פורמט:	ספר
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=123746

פריטים דומים