Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие

Détails bibliographiques
Auteur principal:	Мокеев О. К. Олег Константинович
Autres auteurs:	Романов А. С. Александр Сергеевич
Langue:	russe
Publié:	Москва, Высшая школа, 1979
Collection:	Профтехобразование: Радиоэлектроника
Sujets:	химическая обработка фотолитография производство полупроводниковые приборы микросхемы микроэлектронные схемы учебные пособия полупроводники технология травление фотошаблоны изготовление
Format:	Livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=123746

Documents similaires