Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие

Bibliografiset tiedot
Päätekijä:	Мокеев О. К. Олег Константинович
Muut tekijät:	Романов А. С. Александр Сергеевич
Kieli:	venäjä
Julkaistu:	Москва, Высшая школа, 1979
Sarja:	Профтехобразование: Радиоэлектроника
Aiheet:	химическая обработка фотолитография производство полупроводниковые приборы микросхемы микроэлектронные схемы учебные пособия полупроводники технология травление фотошаблоны изготовление
Aineistotyyppi:	Kirja
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=123746

Samankaltaisia teoksia