Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Мокеев О. К. Олег Константинович
Otros Autores:	Романов А. С. Александр Сергеевич
Lenguaje:	ruso
Publicado:	Москва, Высшая школа, 1979
Colección:	Профтехобразование: Радиоэлектроника
Materias:	химическая обработка фотолитография производство полупроводниковые приборы микросхемы микроэлектронные схемы учебные пособия полупроводники технология травление фотошаблоны изготовление
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=123746

Ejemplares similares