Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Мокеев О. К. Олег Константинович
Weitere Verfasser:	Романов А. С. Александр Сергеевич
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Москва, Высшая школа, 1979
Schriftenreihe:	Профтехобразование: Радиоэлектроника
Schlagworte:	химическая обработка фотолитография производство полупроводниковые приборы микросхемы микроэлектронные схемы учебные пособия полупроводники технология травление фотошаблоны изготовление
Format:	MixedMaterials Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=123746

Ähnliche Einträge