Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Мокеев О. К. Олег Константинович
Další autoři:	Романов А. С. Александр Сергеевич
Jazyk:	ruština
Vydáno:	Москва, Высшая школа, 1979
Edice:	Профтехобразование: Радиоэлектроника
Témata:	химическая обработка фотолитография производство полупроводниковые приборы микросхемы микроэлектронные схемы учебные пособия полупроводники технология травление фотошаблоны изготовление
Médium:	Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=123746

Podobné jednotky