Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие

Manylion Llyfryddiaeth
Prif Awdur:	Мокеев О. К. Олег Константинович
Awduron Eraill:	Романов А. С. Александр Сергеевич
Iaith:	Rwseg
Cyhoeddwyd:	Москва, Высшая школа, 1979
Cyfres:	Профтехобразование: Радиоэлектроника
Pynciau:	химическая обработка фотолитография производство полупроводниковые приборы микросхемы микроэлектронные схемы учебные пособия полупроводники технология травление фотошаблоны изготовление
Fformat:	Llyfr
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=123746

Eitemau Tebyg