Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем, учебное пособие

Bibliographic Details
Main Author:	Мокеев О. К. Олег Константинович
Other Authors:	Романов А. С. Александр Сергеевич
Published:	Москва, Высшая школа, 1979
Series:	Профтехобразование: Радиоэлектроника
Subjects:	химическая обработка фотолитография производство полупроводниковые приборы микросхемы микроэлектронные схемы учебные пособия полупроводники технология травление фотошаблоны изготовление
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=123746

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	123746
005	20231031130626.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\133934
090			\|a 123746
100			\|a 20071023d1979 m y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a j 000zy
200	1		\|a Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем \|e учебное пособие \|f О. К. Мокеев, А. С. Романов
210			\|a Москва \|c Высшая школа \|d 1979
215			\|a 272 с. \|c ил.
225	1		\|a Профтехобразование: Радиоэлектроника
610	1		\|a химическая обработка
610	1		\|a фотолитография
610	1		\|a производство
610	1		\|a полупроводниковые приборы
610	1		\|a микросхемы
610	1		\|a микроэлектронные схемы
610	1		\|a учебные пособия
610	1		\|a полупроводники
610	1		\|a технология
610	1		\|a травление
610	1		\|a фотолитография
610	1		\|a фотошаблоны
610	1		\|a изготовление
675			\|a 621.382(075.3) \|v 3
700		1	\|a Мокеев \|b О. К. \|g Олег Константинович
701		1	\|a Романов \|b А. С. \|g Александр Сергеевич
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20071023 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20080303 \|g PSBO
942			\|c BK