Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Мокеев О. К. Олег Константинович
Altres autors:	Романов А. С. Александр Сергеевич
Idioma:	rus
Publicat:	Москва, Высшая школа, 1979
Col·lecció:	Профтехобразование: Радиоэлектроника
Matèries:	химическая обработка фотолитография производство полупроводниковые приборы микросхемы микроэлектронные схемы учебные пособия полупроводники технология травление фотошаблоны изготовление
Format:	MixedMaterials Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=123746

Descripció
Descripció física:	272 с. ил.

Ítems similars